Pelat Pengisap Keramik Oxalumina adalah produk revolusioner di bidang sistem penanganan presisi. Itu terbuat dari keramik α-alumina (α-Al₂O₃) dengan kemurnian ≥99,9%, dikombinasikan dengan struktur berpori yang direkayasa untuk mencapai distribusi vakum yang optimal. Dibandingkan dengan cangkir hisap logam atau polimer tradisional, larutan keramik ini sepenuhnya menghilangkan risiko kontaminasi partikel, sekaligus mampu menahan suhu ekstrem (pengoperasian terus-menerus 1750°C) dan lingkungan korosif. Struktur mikronya yang unik (ukuran pori seragam 2-5μm, kepadatan 3,89g/cm³) memastikan kerataan submikron (kekasaran permukaan Ra≤0,1μm), menjadikannya satu-satunya platform cangkir hisap profesional yang dapat menangani wafer semikonduktor 300mm dengan akurasi hisap ±0,1μm.
1. Terobosan kinerja material
Stabilitas termal: tidak ada deformasi dalam siklus kejutan termal 800°C, dan masa pakai 5 kali lebih lama dibandingkan cangkir hisap paduan (lingkungan proses suhu tinggi).
Ketahanan kimia: Penurunan berat badan selama 1 tahun dari perendaman asam sulfat 30% kurang dari 0,01g, cocok untuk pengoperasian elektrolit baterai dan proses pengendapan uap kimia.
Kinerja isolasi: Kekuatan medan kerusakan mencapai 40kV/mm, memastikan pengoperasian yang aman di ruang etsa plasma.
2. Inovasi desain teknik
Kontrol porositas: porositas 40% dicapai melalui proses pencetakan injeksi gel, dan struktur dinding pori 1-3μm mencegah bagian ultra-tipis (≤50μm) dari adsorpsi dan deformasi.
Arsitektur cerdas: Sensor suhu internal mendukung manajemen termal real-time dari -196℃ hingga lingkungan bersuhu sangat tinggi.
